“探針臺選型需要注意事項”你知道嗎?
文章出處:常見問題 責任編輯:深圳市華榮華電子科技有限公司 閱讀量:- 發表時間:2022-03-23 00:00:00
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探針臺是一種很專業的儀器,它主要的功能就是針對半導體元件進行檢測,這里面說的半導體元件指的是集成電路,分立器件,光電器件,傳感器等元件以及封裝的測試。通過探針臺配合測量儀器可完成集成電路的電壓,電流,電阻和電容電壓特性曲線等參數檢測。可以適用于對芯片進行科研分析,抽查檢測等;可以保證這些半導體元件的質量,縮短研發時間和器件制作工藝的成本,所以,它的存在對于制造半導體的企業來說是非常重要的。
隨著半導體市場的逐步開放和增長,作為半導體檢測的必備儀器—探針臺的市場也在逐年增長和擴大中,不論是海外品牌還是國產品牌,近幾年在半導體檢測儀器市場中的規模都在逐年擴大。
從全球的探針臺市場來看,目前還是以國外的企業為主導,他們占據了大部分的探針臺市場。近乎7成的市場份額都被國外探針臺企業所占據,僅有3成的市場由臺灣企業及國內的廠商占據,可以說比重較低。
由于我國在半導體市場上長期被國外企業掣肘,因此,我國已經開始下大力氣在半導體的研發中了,國家會給半導體行業很多政策上的扶持。所以,國內的探針臺企業也在努力力爭上游,帶著研發團隊不斷提升自身技術和自身的競爭力。相信在不久的將來,我國半導體行業將會有飛躍性的進展。
探針臺按照功能區分,分為常溫探針臺,高溫探針臺,高低溫探針臺,以及霍爾探針臺還有其他定制型專用探針臺等,而目前常溫探針臺,高溫探針臺無論是性能還是操作使用便捷性上,都已經足以媲美進口品牌,而高低溫探針臺液氮(77K)溫區經過這幾年的發展品質也足夠穩定,至于超低溫液氦(4K)溫區還在需要更多的磨練與發展。但是這里值得注意的是不管處于哪個技術要求下的探針臺,國產探針臺的價格都能比進口探針臺相差幾倍,甚至幾十倍之大。
以下是探針臺選型注意事項
※最大需要測幾inch的晶圓或者器件?是否需要測試破片或者單顆芯片,最小的單顆芯片尺寸?
※探針臺機械精度要求多高?
※點測樣品的電極尺寸?100μm *100μm或60μm *60μm的pad,還是FIB制作的mini pad,或者ic內部的metal線路?
※最多需要幾個探針同時去點測?
※是否會用到探針卡測試?
※光學顯微鏡的最小分辨率需要用到多少?
※顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測?
※探針點測時,對電流的要求能否達到100fa或者以下?低
電容要求能否要做到0.1pf?是否有射頻需求?
※接駁的測試儀器接口有哪些?
※測試環境時是否會需要加熱或者降溫? 是否需要密閉腔體?
※對chuck的漏電要求怎樣?是否需要添加低阻抗chuck?
※是否需要防震桌?
※若添置防震桌,是否有壓縮空氣?